Dresden - Dresden wächst - auch die Chipindustrie. Neue Halbleiterwerke entstehen im Norden der Stadt, doch viele Beschäftigte kommen bislang nur schwer mit der Bahn dorthin. Die Lösung soll eine Verlängerung der Straßenbahnlinie 8 bringen, die künftig direkt zu den Fabriken führen soll. Doch ganz so einfach ist das nicht ...

Straßenbahnen erzeugen Erschütterungen, ihre Oberleitungen magnetische Felder – beides kann die extrem empfindliche Produktion der Halbleiterindustrie stören.

Deshalb wird gerade getestet, ob genau das zum Problem werden könnte. Im Einsatz: ein sogenannter "Vibrotruck". Der tonnenschwere Lkw bringt per vibrierender Stahlplatte gezielte Bodenwellen in den Untergrund – ein kontrolliertes Mini-Erdbeben, um zu sehen, was die neuen Werke aushalten. In benachbarten Fabriken messen Sensoren, wie stark sich die Schwingungen ausbreiten.

"Was wir hier sehen, ist einer der großen Meilensteine für den Abschluss der Vorplanung des Projektes Linie 8", sagt Projektleiter Andreas Neukirch (54).

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Denn die Anforderungen sind extrem. Die Grenzwerte, von denen in der Branche die Rede ist, liegen rund 30-mal unter dem, was ein Mensch überhaupt spüren kann.

Trotzdem gilt: "In den hochsensiblen Fertigungsbereichen der Halbleiterindustrie können selbst kleinste Vibrationen Auswirkungen auf die Qualität haben", sagt Dieter Heiland (62) vom Gutachterbüro Heiland & Mistler.

Auch magnetische Felder können die Arbeit in den Chipfabriken stören. Sie entstehen etwa durch die Oberleitungen der Straßenbahn. Das Problem: In der Halbleiterfertigung kommen Elektronenstrahlen zum Einsatz, die durch äußere Magnetfelder abgelenkt werden können. Dann wird die Produktion ungenau.

"Ziel ist es, eine Infrastruktur zu schaffen, die mit den Anforderungen der Industrie kompatibel ist", so Neukirch weiter. Noch ist unklar, welche Konsequenzen die Studie am Ende bringt.